1.磨平，使用320grit砂紙水冷，磨制2~3分鐘，去除切割產生的損傷層，并使樣品表面平坦。使用320grit SiC砂紙，水冷，轉速240 RPM，同向轉動*，壓力：27N（6lbs）/每個樣品，直到樣品磨平為止。

注：去除切割損傷層是打磨的基礎任務，如果去除不凈，直接后果是觀察到的現象可能為假象。

2.粗拋光，把9μm的metaDI金剛石拋光膏預先涂抹在帶孔的TEXMET拋光布上，使用蒸餾水做為冷卻潤滑劑，拋光10~15分鐘。粗拋光過程：9μm metaDI金剛石拋光液+metaDI拋光潤滑劑，使用ULTRA-PAD拋光表面，轉速120 RPM,反向轉動**，壓力：27N（6lbs）/每個樣品，時間10min。

3.最終拋光，使用MICROCLOTH或者MASTERTEX拋光布，添加MASTERMET二氧化硅懸浮拋光液，拋光10~15分鐘。最終拋光過程：在MICROCLOTH拋光表面上，使用MASTERMET二氧化硅拋光液，轉速120 RPM,反向轉動，壓力：27N（6lbs）/每個樣品，時間10min。

注：在拋光過程中，樣品需要定時轉動方向，大多數金屬合金中存在硬質相，如果不轉動方向，拋光的樣品在硬質相上會有黑色的“長尾巴”，影響金相質量，解決“長尾巴”問題的關鍵在于轉動樣品的方向。每次可以轉90度或180度。